Subclass Subgroup Patent
G03F 1/38 12169356
  1/82 12169357
  7/0002 12169358
  7/001 12169359
  7/0046 12169360
  7/162 12169361
  7/325 12169362
  7/70516 12169363
  7/70641 12169364
    12169365
  7/70683 12169366
  7/70725 12169367
  7/70775 12169368
  7/70866 12169369
  9/7088 12169370