Subclass Subgroup Patent
H01L 23/10 12170235
  23/18 12170236
  23/3675 12170237
  23/373 12170238
  23/3735 12170239
  23/49513 12170240
  23/49589 12170241
  23/49816 12170242
  23/49827 12170243
  23/5226 12170244
    12170245
    12170246
  23/528 12170247
  23/53276 12170248
  23/5385 12170249
  23/5386 12170250
  23/5389 12170251
    12170252
  23/585 12170253
  23/62 12170254
  23/66 12170255