Subclass Subgroup Patent
H01L 21/02043 12170195
  21/02049 12170196
  21/0228 12170197
    12170198
  21/02282 12170199
  21/0262 12170200
  21/0338 12170201
  21/28088 12170202
  21/28123 12170203
  21/304 12170204
  21/31144 12170205
  21/32135 12170206
  21/563 12170207
  21/67017 12170208
  21/6708 12170209
    12170210
  21/67092 12170211
    12170212
  21/67115 12170213
  21/67248 12170214
  21/67259 12170215
  21/67742 12170216
  21/6833 12170217
    12170218
    12170219
  21/68707 12170220
  21/6875 12170221
  21/68764 12170222
  21/76898 12170223
  21/78 12170224
    12170225
  21/8213 12170226
  21/8221 12170227
  21/823431 12170228
  21/823481 12170229
  21/823807 12170230
  21/823857 12170231
  22/12 12170232
  22/26 12170233
  22/34 12170234
  23/10 12170235
  23/18 12170236
  23/3675 12170237
  23/373 12170238
  23/3735 12170239
  23/49513 12170240
  23/49589 12170241
  23/49816 12170242
  23/49827 12170243
  23/5226 12170244
    12170245
    12170246
  23/528 12170247
  23/53276 12170248
  23/5385 12170249
  23/5386 12170250
  23/5389 12170251
    12170252
  23/585 12170253
  23/62 12170254
  23/66 12170255
  24/05 12170256
  24/08 12170257
    12170258
    12170259
  24/16 12170260
  24/20 12170261
  24/85 12170262
  24/96 12170263
  25/0652 12170264
  25/0657 12170265
    12170266
    12170267
    12170268
  25/0753 12170269
    12170270
  25/167 08124988
    12170271
    12170272
  25/18 12170273
    12170274
    12170275
    12170276
  27/0207 12170277
    12170278
  27/088 12170279
  27/0886 12170280
  27/092 12170281
  27/0924 12170282
  27/0928 12170283
  27/1203 12170284
  27/1218 12170285
    12170286
  27/124 12170287
    12170288
    12170289
    12170290
    12170291
  27/1248 12170292
    12170293
  27/1255 12170294
  27/1288 12170295
  27/14605 12170296
  27/14612 12170297
  27/14614 12170298
  27/14621 12170299
    12170300
  27/14623 12170301
  27/14629 12170302
  27/14634 12170303
  27/14647 12170304
  27/14659 12170305
  27/14818 12170306
  27/156 12170307
    12170308
    12170309
  28/40 12170310
  29/063 12170311
  29/0634 12170312
  29/0642 12170313
  29/0653 12170314
  29/0673 12170315
  29/2003 12170316
  29/24 12170317
  29/36 12170318
  29/41791 12170319
    12170320
  29/42368 12170321
  29/42392 12170322
    12170323
  29/517 12170324
  29/66507 12170325
  29/66666 12170326
  29/66795 12170327
  29/7786 12170328
  29/7816 12170329
  29/7827 12170330
  29/785 12170331
    12170332
  29/7851 12170333
  29/7856 12170334
  29/78618 12170335
  29/7869 12170336
    12170337
    12170338
    12170339
  29/86 12170340
  31/1075 12170341
  33/06 12170342
  33/382 12170343
    12170344
    12170345
  33/505 12170346
  33/62 12170347
    12170348
    12170349