Subclass Subgroup Patent
H01L 25/0652 12170264
  25/0657 12170265
    12170266
    12170267
    12170268
  25/0753 12170269
    12170270
  25/167 08124988
    12170271
    12170272
  25/18 12170273
    12170274
    12170275
    12170276