Subclass Subgroup Patent
H01J 37/1478 12170182
  37/222 12170183
  37/26 12170184
  37/32394 12170185
  37/3244 12170186
  37/32449 12170187
  37/32477 12170188
  37/32715 12170189
  37/32724 12170190
    12170191
  37/32844 12170192
  37/3299 12170193
  37/3405 12170194